德国尤尼坦回流焊炉主要用于研究开发和小规模生产。尤尼坦多个型号回流焊系统主要分为4个系列:
应用领域:
无助焊剂焊接;
倒装芯片焊接工艺;
键合;
Bump回流焊接;
微电子封装;
功率器件焊接;
晶圆热处理;
工艺研发;
质量控制;
技术规格:
加热区域:110mm x 110mm (RSS-110-S);160mm x 160mm(RSS-160-S);210mm x 210mm(RSS-210-S); 300mm x 300mm (VSS-300);
腔体高度:40mm (选配80mm);
视窗直径:60mm;
工艺气体控制:MFC控制,5nlm流量;
真空:10-3 hPa (高真空选配);
工艺温度:400摄氏度(500摄氏度或650度选配);
升温速度:>100 K/Min;
降温速度:>100 K/Min;
工艺控制:SIMATIC©人机界面控制,7英寸触摸屏;
水冷腔体;
电源:230V, 2.4 kW
选配项目:
FA甲酸模块;
MFC工艺气路;
EH腔体增高;
H2氢气模块;
TC多通过测温;
VAC真空模块;
MP隔膜泵,MPC化学防腐隔膜泵;
RVP旋叶真空泵;
WC冷水机;