MPS微探针台(Micro Probe Station)尺寸小、重量轻，具备变温测试及真空测试功能，适用于科研工作，也适用于与其他仪器联用，是一款非常有特点的微探针系统。
仪器特点：
工作距离短、尺寸小，带有视窗，可以与各种显微镜联用；
配备真空腔，有优异的气密性；
配备MFC工艺气路，可以通入多种微量气氛；
标准同轴或三轴接口，与各种主流电学测试仪表兼容；
多种变温手段，高精度温度控制：
-40℃ ~ 200℃ (帕尔帖变温)；
-40℃ ~ 170℃ (帕尔帖变温)；
室温 ~ 450℃ (陶瓷加热)；
室温 ~ 750℃ (陶瓷加热)；
77K ~ 300K (液氮变温)；
应用领域：
与拉曼光谱联用；
电致发光或荧光光谱测试(EL, PL)；
气体传感器(气敏测试)；
金属-绝缘体相变；
光电流扫描；
I-V测试；
场效应晶体管测试；
热传导测试；
热磁滞研究；
铁电畴转换观测；
反射率测试；
霍尔效应测试；
关键词:
微探针台‘微探针系统；
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