RTP-1200小型快速退火炉(RTP/RTA)为韩国进口的快速退火炉。
该仪器：尺寸小巧，使用风冷、无须水冷，电流要求不高(3安培)，性价比高，使用方便，非常适合科研院所的科研使用。

技术规格：
  - 加热方式：红外卤素灯，600W；
  - 红外灯数量：4支；
  - 最快升温速率：100℃/秒；
  - 最快降温速率：50秒(1000℃ → 400℃)；
  - 最高温度：1200℃；
  - 温度精度：+/-0.3℃
  - 最大样品尺寸：15 x 20mm；
  - 退火环境：真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢氮混合气等)；
  - 真空泵及极限压力：机械泵，10-3Torr水平(选配)；
  - 电压：220 V，单相；
  - 仪器尺寸：400*300*450mm (W*D*H)；
  - 质量：净重30Kg；

仪器特点：

• 可在真空/不同气氛/空气不同环境下，对样品进行快速热处理；

• 温控精度高；

• 无须配置冷水机；

• 无须使用三相电，普通实验室单相电即可使用；

• 紧凑的台式设计；

• 仪器操作方便，样片装取容易；

• 适合高校或研究所科研使用；

• 价格合理，高性价比；

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应用领域：

• 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing, RTA);

• 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation, RTO);

• 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation, RTN);

• 硅化 (Silicidation);

• 扩散 (Diffusion);

• 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);

• 离子注入后退火 (Implant Annealing);

• 电极合金化 (Contact Alloying);

• 晶体化和致密化 (Crystallization and Densification);

• 合金熔点分析；

• 薄膜沉积；

• 等等…

参考用户：
北京大学、南京大学、吉林大学、湖南大学、广西大学、齐齐哈尔大学、西北大学、中科院北京纳米所、中科院苏州纳米所、苏州EST等。

关键词:

快速退火炉；