复旦大学微电子学院从载德半导体技术有限公司采购了两台RTP-100快速退火炉，一台用于快速退火氧化工艺(RTO)，一台用于快速退火还原工艺。
要知道原子层沉积系统这款设备它的使用范围也是很广泛的，虽然说在很多行业里面经常会看到它，但是大部分的人还不是很了解的。
关于原子层沉积系统的一些基本信息相信大家也比较清楚，毕竟我们之前也做了详细的了解。
原子层沉积系统，也称为原子层外延，或原子层化学气相沉积。
国内虽然已经完成了光刻机的生产，但在它的性能与技术上还落后于西方发达国家，还需要不断的提高提高光刻机性能的关键技术是它未来发展的重点，这种机器将图形从掩膜上复制到硅片是的主要参数决定了它的性能。
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