ETCP-2000变温真空探针台,温控范围:80K~573K,最大样品尺寸:4英寸,高性价比。
技术规格:
载物盘
载物盘直径:100mm (4inch);
载物盘移动范围:±20mm (X轴),±20mm (Y轴);
载物盘温度:80K ~ 350K;
探针座
探针调节分辨率:12um ± 2um;
探针移动范围:6mm(X轴) x 20mm(Y轴) x 6mm(Z轴);
标配4套针座,同轴BNC缆线;
腔体
腔体形状:圆柱体真空腔,顶部开门;
腔体尺寸:370mm (外径) x 230mm(高);
极限真空:8 x 10-3 Torr;
选配项
真空规;
真空泵;
隔振台;
探针座;
真空连通,电学连通;
参考客户:
浙江大学、武汉理工大学、中科院上海技术物理所、中科院苏州纳米所等。
关键词:
低温探针台;真空探针台;变温探针台;